四探针测试技术

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中文名
四探针测试技术
外文名
Four-point probe
简    称
四探针法
简    介
是测量半导体电阻率最常用的方法
四探针(Four-point probe)测试技术,简称为四探针法。这是测量半导体电阻率最常用的一种方法。即是用4根等间距配置的探针扎在半导体表面上,由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I,然后测量出中间两根探针之间的电压V,就可以求出半导体的电阻率。对于厚度为W(远小于长和宽)的薄半导体片,得到电阻率为ρ=ηW(V/I),式中η是修正系数。特别,对于直径比探针间距大得多的薄半导体圆片,得到电阻率为ρ= (π/ln2)W(V/I)= 4.532 W(V/I) [Ω-cm],其中W用cm作单位。
词条标签:
理学